哪些流量计适用于半导体行业呢

半导体行业主要使用‌气体质量流量计‌和‌电磁流量计‌，具体选择需根据工艺场景和介质特性决定：

法米特气体质量流量计

适用于晶圆加工、离子注入、真空封装等工艺，需高精度控制气体流量以确保工艺稳定性。例如：

‌湿法蚀刻工艺‌：精确控制HF、H₂O₂等化学气体的流量，避免蚀刻不足或过蚀。 ‌

‌离子注入工艺‌：监测Ar等惰性气体流量，维持离子源稳定性。 ‌

‌真空封装测试‌：配合压力传感器实现动态补偿，防止外部气体渗入导致氧化失效。 ‌

法米特电磁流量计

在晶圆级封装等场景中，电磁流量计可监测N₂保护气体等流体，但其应用更多集中在气体质量流量计的上下游工艺环节。