半导体湿法清洗机常用什么流量计

半导体湿法清洗机常用‌超声波流量计‌和‌质量流量计‌，具体选择需结合工艺需求：

法米特超声波流量计

‌应用场景‌：适用于清洗液含腐蚀性化学品的场景，需具备耐高温（80℃以下）和耐腐蚀性，通常采用不锈钢或特殊合金材质。 ‌

‌技术特点‌：通过夹钳式安装方式实现快速拆装，支持自动化集成，可实时监控流量波动以确保清洗精度。 ‌

法米特质量流量计

‌应用场景‌：在气体输送环节（如H₂O₂、HF等化学气体）中，需精确控制流量偏差≤±0.2%以避免工艺失效。 ‌

‌技术特点‌：采用AI算法优化参数，与DCS系统联动实现远程校准，支持高温（300℃）和腐蚀性气体环境。 ‌

选型建议

‌介质特性‌：确认清洗液/气体成分、温度范围（如≤80℃或＞300℃）及腐蚀性。

‌精度需求‌：晶圆加工需±0.2%精度，封装测试可接受±1%精度。

‌安装方式‌：优先选择模块化设计（如即插即用传感器），减少停机时间。